Vereisten voor cleanrooms in de halfgeleiderindustrie

De eisen voor cleanrooms in de halfgeleiderindustrie zijn als volgt:
1. Hoge reinheidseisen
De productie van halfgeleiders vereist een zeer strikte schone omgeving. De luchtreinheid in cleanrooms varieert afhankelijk van de eisen van verschillende halfgeleiderprocessen, en voldoet over het algemeen aan de normen van Klasse 1 (gelijk aan of minder dan 1 deeltje van 0,1 micron per kubieke voet) tot Klasse 100 (gelijk aan of minder dan 100 deeltjes van 0,5 micron per kubieke voet).
2. Nauwkeurige temperatuur- en vochtigheidsregeling
Halfgeleidermaterialen zijn zeer gevoelig voor temperatuur en vochtigheid. De cleanroom moet strikt worden geregeld op 20-25 °C, met een relatieve vochtigheid van 40-60% en schommelingen van niet meer dan ± 1 °C en ± 5% RV.
3. Betrouwbare en stabiele stroomvoorziening en -verdeling
De cleanroom vereist een speciaal stroomvoorzienings- en distributiesysteem om een stabiele en redundante stroomvoorziening te bieden, waardoor de normale en ononderbroken werking van procesapparatuur wordt gewaarborgd. Tegelijkertijd is het noodzakelijk om beschermings- en filterfuncties te hebben om stroomstoringen te voorkomen.
4. Redelijke stroom van stofvrije lucht
Cleanrooms moeten worden uitgerust met stofvrije luchtfiltratie- en circulatiesystemen om een redelijke luchtstroomverdeling en geen dode hoeken te garanderen, zodat schone lucht volledig elke hoek kan bereiken. De luchtsnelheid en luchtdruk moeten ook strikt worden gecontroleerd om te voorkomen dat externe lucht terugstroomt of stoort.
5. Compleet seismisch ontwerp
Gezien de stabiliteitseisen van halfgeleiderprocessen, moeten cleanrooms meestal schokbestendige maatregelen nemen om de impact van externe trillingen op het proces te verminderen. De fundering moet voldoende stabiel zijn en worden uitgerust met bufferapparatuur.
6. Materiaalkeuze is stofvrij en vervuilingsvrij
Het oppervlaktemateriaal van de cleanroom moet stofvrij en vervuilingsvrij zijn en geen deeltjes produceren. Roestvrij staal, aluminium platen, gehard glas en andere materialen worden vaak gebruikt. Er moet een luchtsluis bij de ingang worden geïnstalleerd om te voorkomen dat stof binnendringt.